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高精度可调量程电感式位移传感器测量系统 被引量:10

High Precision and Range-adjustable Measuring System with Inductive Displacement Transducer
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摘要 本文根据电感传感器量程、灵敏度、分辨率和精度之间的关系,以AD598AD芯片为基础设计了电感传感器的后续处理电路。该电路配以数据采集卡和上位机采集程序,搭建了高精度可调量程的电感式位移传感器测量系统。经试验分析验证,测量误差可减小至0.74μm。 The relationship among the range, sensitivity, resolution ratio and precision of an inductive sensor is expounded in this article. According to the relationship, and based on chip AD598AD, a subsequent processing circuit for an inductive sensor is designed. Based on the circuit and a data acquisition card plus a PC program, a high precision and range-adjustable measuring system with inductive displacement sensor is built. The experimental analysis shows that the system is able to reduce the measurement error to be 0.74μm.
机构地区 合肥工业大学
出处 《工具技术》 北大核心 2017年第7期104-107,共4页 Tool Engineering
基金 国家自然科学基金重大项目(51490660/51490661)
关键词 电感 可调量程 灵敏度 分辨率 精度 AD598AD芯片 inductance adjustable range sensitivity resolution ratio precision chip AD598AD
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