摘要
本发明公开了一种髙效氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法,包括如下步骤：1）清洗玻璃基片,后用髙压N2吹干;2）采用直流耦合射频磁控溅射的方法沉积氮掺杂二氧化钛薄膜,即射频电源与匹配器相连接后与直流电源一起连接至滤波器,滤波器直接连接阴极,射频电源和直流电源一起供电给阴极.本发明采用直流耦合射频磁控溅射的方法沉积氮掺杂二氧化钛薄膜,从而得到沉积速率快、膜层质量髙的薄膜.本发明工艺简单,条件易控,制备周期短,易于规模放大.
出处
《无机盐工业》
CAS
北大核心
2017年第7期75-75,共1页
Inorganic Chemicals Industry
