溶胶凝胶法制备透明导电ZnO:Al薄膜的研究

以乙酸锌、乙醇胺、九水合硝酸铝为原料,对溶胶凝胶方法制备AZO薄膜的方法进行了改进,利用提拉浸渍法制备薄膜,得到了成膜效果良好的多层AZO透明导电薄膜,采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)、电阻测试装置,研究了Al的掺杂量、退火温度以及薄膜层数等工艺参数对薄膜结构和光电性能的影响。确定了最佳光电性能的AZO薄膜制备方案:Al掺杂浓度1%,退火温度550℃,涂膜层数为15层。