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国内首个半导体薄膜设备生产基地在沈阳投入使用
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摘要
日前,从沈阳拓荆科技有限公司获悉,在国家大基金、国家科技部重大专项以及省市区三级政府的大力支持下,沈阳拓荆科技有限公司投资兴建的新厂区正式投入使用。
出处
《中国集成电路》
2017年第7期2-2,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
沈阳
生产基地
膜设备
半导体
国家科技部
国内
分类号
TN304.23 [电子电信—物理电子学]
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中国集成电路
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