纳电子机械系统

纳电子机械系统是基于MEMS技术而提出的一个新概念，是指在特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体化研究领域，包括特征尺寸在业纳米到数百纳米并以纳米级结构所产生的量子效应、界面效应和以纳米尺度效应为工作特征的器件和系统。