声激励共振法测量微机械材料的杨氏模量

针对微机械材料的杨氏模量测量,在系统论述静态应变测量与静电激励共振测量具体方法、特点和缺陷的基础上,深入分析了声激励共振法测量方法,并对其实际应用进行研究,得出采用声激励共振法测量测得的微机械材料杨氏模量和发布结果相同,该方法有良好应用与推广价值的目的。