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基于数字波面干涉的平面度测试方法 被引量:2

Flatness Measurement Method Based on Digital-Waveferont Interferometry
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摘要 本文介绍了一种基于数字波面干涉的平面度测试方法,该方法基于菲索干涉仪结构,通过数字CCD采集单帧干涉图像,运用zemike函数基于单帧图像拟合被测平面三维面型,以PV值综合评价整体平面度,区别于传统的等厚干涉仪与移相干涉测试方法。经验证此方法正确可行,测试数据准确可靠。
出处 《计量技术》 2017年第7期7-9,共3页 Measurement Technique
基金 江苏省质量技术监督局科技计划项目(KJ133812)
  • 相关文献

参考文献5

二级参考文献21

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共引文献11

同被引文献10

引证文献2

二级引证文献4

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