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金属钨溅射靶材制备及性能研究 被引量:3

Preparation and properties of metal tungsten sputtering target
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摘要 本文着重从金属钨靶的成型烧结工艺和轧制处理工艺两个角度来探讨金属钨靶的的综合性能,通过显微分析和性能测定来确定金属钨靶的最优工艺。 This paper focuses on the comprehensive performance of metal tungsten target sintering process and rolling process to explore the two point metal tungsten target, through microscopic analysis and performance test to determine the optimal process of metal tungsten target.
出处 《世界有色金属》 2017年第10期249-250,共2页 World Nonferrous Metals
关键词 钨靶 成型烧结 轧制 tungsten target forming sintering rolling
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参考文献2

二级参考文献8

共引文献52

同被引文献46

引证文献3

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