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微电子工业中脉冲激光焊接技术及其应用 被引量：10

Pulsed laser welding technology and its application in micro-electronic Industry
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摘要 针对当前微电子工业中应用的脉冲激光焊,首先介绍了其机理和特点,并从激光束质量、脉冲宽度、脉冲能量、被焊材料性能等方面分析了它们对焊接质量的影响。重点阐述了脉冲激光焊接技术在微电子工业集成电路制造中的应用和特点。
作者 韩学斌 姜幼卿
机构地区 华中科技大学材料学院
出处 《焊接技术》 2002年第4期3-5,共3页 Welding Technology
关键词 微电子工业 脉冲激光焊接 激光束质量 集成电路
分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学] TG456.7 [金属学及工艺—焊接]
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献20

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共引文献115

同被引文献42

引证文献10

二级引证文献37

焊接技术
2002年 第4期

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