摘要
超纯石英玻璃简介
超纯石英玻璃是以等离子化学气相沉积（Plasma Chemical Vapor Deposition,简称PCVD）工艺制备石英玻璃,高纯四氯化硅（Si Cl4,纯度99.9999%）为原料,无氢洁净等离子体焰为热源,制得的石英玻璃金属杂质含量小于1ppm,羟基（OH）含量小于5ppm,φ100mm口径内光学不均匀性小于2×10-6。行业中将PCVD工艺制备的石英玻璃称为超纯石英玻璃或者Ⅳ类石英玻璃。
出处
《中国建材》
2017年第9期120-123,共4页
China Building Materials
