广东计量科学研究院完成多项微纳米技术科研项目

随着纳米科技及微加工的发展,微纳尺度产品的计量检测愈加迫切,需求也逐渐增大。为解决量传溯源问题,广东省计量院通过承担质检总局科研项目“微纳米薄膜厚度的量值溯源及膜厚测量仪器校准技术研究”和省科技厅科研项目“微纳米尺度薄膜台阶标样及膜厚量传体系研究”,成功研制出微纳米线宽标准样板、纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度标准样品等。