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结合了激光和白光的混合共聚焦显微镜
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摘要
日本Lasertec公司推出了Optelics混合共焦显微镜,将激光和白光源组合在一体,用于多功能高性能共聚显微镜。两组共焦光学器件与附加器件相结合,包括干涉仪、微分干涉对比观察和光谱反射膜厚度测量仪。
出处
《现代材料动态》
2017年第9期6-6,共1页
Information of Advanced Materials
关键词
共聚焦显微镜
混合
激光
共焦显微镜
白光
光学器件
厚度测量仪
微分干涉
分类号
TH742.64 [机械工程—光学工程]
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