摘要
阻变存储器具有结构简单、速度快、存储密度高、易于三维集成等诸多优点,是下一代存储器的重要候选之一。文章详细介绍了阻变存储器的工作原理、电阻转变的物理机制、电阻转变过程中的物理效应以及阻变存储器的集成和产业化前景。
With its advantages of simple structure, fast speed, high storage density, ease of integration, good compatibility with CMOS processes, and so forth, the resistive switching random access memory (RRAM) is an important candidate for next-generation memories. This paper introduces in detail the operation principle of RRAMs, their resistive switching mechanism, physical effects in switching, and their integration and industrialization prospects.
出处
《物理》
北大核心
2017年第10期645-657,共13页
Physics
基金
国家自然科学基金(批准号:61521064
61322408
61422407
61522408
61574169
61334007
61474136
61574166
61376112)
国家重点研发计划(批准号:2016YFA0201803
2016YFA0203800
2017YFB0405603)资助项目
科技北京百名领军人才培养工程项目(批准号:Z151100000315008)
北京市科技计划课题(批准号:Z17110300200000)
中国科学院前沿科学重点研究项目(批准号:QYZDY-SSW-JSC001
QYZDB-SSW-JSC048)
中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室课题基金资助项目
关键词
阻变存储器
电阻转变
导电细丝
集成
RRAM, resistive switching, conductive filament, integration