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第十三届国际真空科学与工程应用学术会议在沈阳举行 被引量:1

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摘要 "协同创新,真空技术助力冶金行业腾飞"、"激发真空态"、"真空压力测量技术"、"空间探测质谱计研究现状"、"真空技术在空间飞行器研制中的应用"、"应用于GSIC产线高端装备的新一代真空干泵"、"有色金属真空冶金研究进展"、"真空等离子表面冶金技术"、"航天功能薄膜及薄膜航天器技术"……最近在东北大学召开的VSEA 2017国际学术会议,特别邀请了14场精彩纷呈的大会学术报告、13场邀请报告,内容涵盖真空科学、真空冶金、集成电路装备、真空计量、航天探测、科研仪器、薄膜材料、真空干泵应用等内容,全面反映了真空科学与技术的学术前沿和产业动态,这也是本次学术会议的突出亮点.
作者 刘坤
出处 《真空》 CAS 2017年第5期30-30,共1页 Vacuum
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