彩色滤光片黄光制程常见工艺异常的处理

文章主要基于涂布、曝光和显影三大设备,从产线特性值管控、RGB色度的影响因素及调整、产线良率的分析改善三方面,探讨了彩色滤光片黄光制程常见工艺异常的处理。