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一种室温下沉积原子层的新方法
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摘要
科罗拉多大学博尔德分校的研究人员开发了一种在室温下合成超薄材料的新方法——这种工艺方法需要800℃或更高的温度下创建一个之前难以实现的主机薄膜微电子学的途径,这通过常规方法生产是不可能的,因为许多组件在遭受高温时会失去关键功能。
作者
李龙飞
出处
《现代材料动态》
2017年第10期6-6,共1页
Information of Advanced Materials
关键词
室温
原子层
沉积
科罗拉多大学
微电子学
工艺方法
超薄材料
研究人员
分类号
TN405.982 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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