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SRAM失效分析
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摘要
1引言 目前.能探洲极窄线宽的纳米探针技术取得了许多进展,从而能表征集成电路内单个器件的电气特性。这篇文章将介绍如何用B1500A半导体器件分析仪进行这类测量,我们通过SRAM失效分析说明这项技术,
作者
谢凯翔
机构地区
是德科技
出处
《中国集成电路》
2017年第10期70-73,共4页
China lntegrated Circuit
关键词
失效分析
SRAM
半导体器件分析仪
探针技术
电气特性
集成电路
窄线宽
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
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中国集成电路
2017年 第10期
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