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单晶硅棒截断崩边与平行度差的探讨分析

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摘要 单晶硅棒在截断过程中,由于各种原因导致单晶圆棒发生崩边或平行度差的问题,严重影响了单晶圆棒的合格率。为了分析并解决该问题,探讨了单晶硅棒截断时发生崩边或平行度差的具体原因及应对措施。除去一般人为的操作不规范外,其中影响单晶硅棒截断时发生崩边或平行度差的因素主要有:夹具、锯带的切割速度及硅棒质量等。
出处 《煤》 2017年第11期52-53,共2页 Coal
基金 山西省国际科技合作项目(2015081056) 山西省重点研发计划重点项目(201603D112007)
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