高效多晶铸锭技术研究

多晶硅铸造过程中出现了大量杂质和缺陷,造成了多晶硅少子寿命降低。位错是常见的缺陷,极大影响了多晶硅的质量。本文结合多晶硅铸造过程中遇到的问题,重点研究不同形核材料、长晶界面及长晶过程中温度梯度对位错的影响,以提高高效多晶硅片的转换效率。