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广东计量科学研究院完成多项微纳米技术科研项目

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摘要为解决量传溯源问题,广东省计量科学研究院依托国家质量监督检验检疫总局科研项目“微纳米薄膜厚度的量值溯源及膜厚测量仪器校准技术研究”,以及广东省科学技术厅科研项目“微纳米尺度薄膜台阶标样及膜厚量传体系研究”,研制出了微纳米线宽标准样板、纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度标准样品等产品,

作者机经

出处《军民两用技术与产品》 2017年第21期37-37,共1页 Dual Use Technologies & Products

关键词计量科学研究院微纳米技术科研项目广东省国家质量监督检验检疫总局膜厚测量仪器薄膜厚度标准样板

分类号 TB9-1 [机械工程—测试计量技术及仪器]

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