气流式倾角传感器敏感元件的有限元分析

笔者按照1∶1的尺寸建立敏感元件实体模型,利用有限元分析软件,通过计算气流式倾角传感器敏感元件密闭腔体内的温度场及速度矢量场的分布,更加直观、准确地研究分析其敏感机理。