显微镜物镜精密调焦装置的研究

文章阐述了将T-30的旋转超声电机作为显微镜物镜的精密调焦装置的驱动元件。此外,还对显微镜的精密调焦装置的相关工作机理以及机械结构组成做了简要分析,同时还设计制作了调焦装置的相关零件,并对其做了必要的有限元分析,得出了调焦装置应该具备的理论分辨率。当然,也对调焦装置做了必要的模拟实验,从而获知了基于驱动电压信号频率的调焦分辨率变化曲线和显微镜运动位移的T变化趋势。