摘要
台积电董事长张忠谋10月12日亲自赴南京12吋新厂（Fab16）主持第一批机台装机典礼。张忠谋自信满满的在致词时表示,他对台积电第一次在国内生产16纳米的先进制程有充足的信心。典礼上半导体设备八大供应商美商应材、阿斯麦（ASML）、科林研发（Lam Reserach）、科磊（KLA-Tencor）、日商荏原制作所（Ebara）、东京威力科创（TEL）、迪恩士半导体（DNS）、日立先端科技等高层一一参与见证。
出处
《半导体信息》
2017年第5期31-33,共3页
Semiconductor Information
