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MEMS器件封装技术
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摘要
MEMS器件体积小,造价低,是未来传感器的发展方向,随着MEMS技术进步,惯性MEMS传感器、中等角频率传感器分辨率高且低成本的惯性组件,用于测量导弹姿态的偏航角和旋转滚动速率。MEMS器件中,封装技术极为重要性,坚固耐用的惯性MEMS器件,除集成技术外封装成为另一个核心,我们对封装技术进行探讨研究,旨在提高MEMS器件的可靠性。
作者
谢康
机构地区
华东光电集成器件研究所
出处
《电子技术与软件工程》
2018年第1期70-70,共1页
ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING
关键词
MEMS器件封装技术
微机电系统
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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