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打造大国重器芯片高端装备迈向新征程

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摘要 12月18日，中电科电子装备集团有限公司（以下简称电科装备）传来好消息，自主研发的国内首台中束流离子注入机在中芯国际大生产线上稳定流片逾200万，

出处《环境技术》 2017年第6期4-4,共1页 Environmental Technology

关键词电子装备芯片离子注入机自主研发稳定流生产线

分类号 TN97 [电子电信—信号与信息处理]

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环境技术

2017年第6期

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