摘要
设计和制作了一种微流体芯片,可用于对单个微观生物或者物体进行分离和捕获,并可以观察每个物体的形状和大小,动态的研究微生物个体的生理活动特征。所设计的微流通道内部高度为33μm,具备一个入水口和一个出水口,其中在通道内部具有捕获阵列区域,每个捕获结构呈U形状,长22μm,宽10μm,高31μm,U形捕获结构与通道下表面距离2μm。采用软光刻微加工的方式,制作的微流体芯片具备结构小巧、集成度高、易于控制等特点,对研究单个微观生物的活动特征和智能化操控具有重要意义。
出处
《电子世界》
2018年第2期166-166,168,共2页
Electronics World