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CVD法制备氮化硼陶瓷的化学反应热力学研究 被引量:1

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摘要 针对BCl3-NH3-H2制备氮化硼陶瓷体系,基于已建立的热力学数据库,根据化学平衡原理,对B-N体系进行了热力学产物平衡浓度分布研究,计算得到在典型CVD工艺参数下体系中重要产物的平衡浓度分布,以及相关重要固相产物包括固相B、h-BN、c-BN和w-BN分布规律,为实验研究提供可靠的理论参考。
作者 任海涛
出处 《科技与创新》 2018年第4期67-68,共2页 Science and Technology & Innovation
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参考文献1

二级参考文献33

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共引文献11

同被引文献17

引证文献1

二级引证文献8

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