摘要
北卡罗来纳州的Coventor公司宣布推出其半导体虚拟制造平台最新版本的SEMulator3D版本6.1。该版本进一步提高了先进半导体工艺的过程模拟、几何结构和建模的准确性,并增加了新功能和可用性。,与SEMulator3D版本6.1一起,Coventor还发布了全新的SEMulator3D Analytics附加组件,可直接在SEMulator3D过程预测平台内自动进行过程的统计分析。
出处
《现代材料动态》
2018年第1期10-11,共2页
Information of Advanced Materials