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极紫外光刻终于做好准备,即将进入晶圆厂
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摘要
有人对我说:“晶圆厂就像一座冰山。”我分不清是谁在说话、因为所有人从头到脚都裹在洁净服里。参观位于纽约州马耳他的格芯公司第8晶圆厂无疑让这个比喻更加形象。我们刚刚走出第8晶圆厂的“子工厂”,那是垂直高度达10米的地下厂房,管道和电线从上方的各种半导体制造工具中蜿蜒而下,连接到化学品自动处理机、水质分析仪、功率调节器以及千瓦级的激光器上。而这个激光器,正是我们此行参观的主要目的。
作者
Samuel K.Moore
出处
《科技纵览》
2018年第1期46-49,共4页
IEEE Spectrum
关键词
极紫外光刻
晶圆
自动处理机
水质分析仪
功率调节器
地下厂房
垂直高度
制造工具
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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