TFT中底栅Cu膜凸起现象研究

超高清显示器需要具有低的信号传输层,Cu膜取代Al膜。针对绝缘膜高温下,底栅Cu膜,在玻璃边缘小黑点的现象,通过OM和FIB分析,确认为Cu膜凸起。本文通过实验提出一种H2预处理方式,利用H2的还原性,去除Cu表面氧化物,释放Cu膜内部应力,降低Cu膜凸起的发生率,在实际生产过程中具有应用价值。