肖特基势垒金属化研究分析

为了制造可靠性高的二极管,对肖特基势垒金属制造尤为关键。本文主要分析了肖特基表面不同金属和金属硅化物的肖特基势垒。通过多次试验得出金属层的淀积技术方法及对刻蚀金属方法,对此进行了各种不同比例的金属淀积工艺试验及对不同比例的刻蚀液体进行了验证。