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国内首条6英寸SiC芯片生产线完成技术调试
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摘要
近日,中车时代电气SiC产业化基地离子注入工艺设备技术调试完成,标志着SiC芯片生产线全线设备、工艺调试圆满完成,具备SiC产品的生产条件,近期产线正式启动试流片。该生产线是国内首条6英寸SiC芯片生产线,总建设投资3.5亿元人民币,获得了国家“02”专项、国家发改委新材料专项等国家重点项目支持,是公司的重点投资项目之一。
出处
《中国集成电路》
2018年第1期4-4,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
芯片生产线
技术调试
SIC
国内
工艺设备
投资项目
产业化基地
国家发改委
分类号
TN304.23 [电子电信—物理电子学]
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