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国内首条6英寸SiC芯片生产线完成技术调试

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摘要 近日,中车时代电气SiC产业化基地离子注入工艺设备技术调试完成,标志着SiC芯片生产线全线设备、工艺调试圆满完成,具备SiC产品的生产条件,近期产线正式启动试流片。该生产线是国内首条6英寸SiC芯片生产线,总建设投资3.5亿元人民币,获得了国家“02”专项、国家发改委新材料专项等国家重点项目支持,是公司的重点投资项目之一。
出处 《中国集成电路》 2018年第1期4-4,共1页 China lntegrated Circuit

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