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英特尔与Global Foundries公开新一代工艺技术细节
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摘要
在2017年度IEEE国际电子组件会议(IEDM)上,Intel与GlobalFoundries分别介绍了让人眼前一亮的新一代工艺技术细节。英特尔(Intel)透露了将在10nm工艺节点的部分互连层采用钻(cobalt)材料的计划细节,Global—Foundries则是介绍该公司将如何首度利用极紫外光(EUV)光刻技术决战7nm工艺节点。
出处
《中国集成电路》
2018年第1期5-5,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
光刻技术
英特尔
工艺
INTEL
电子组件
IEEE
紫外光
节点
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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中国集成电路
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