摘要
近日,中车时代电气SiC产业化基地离子注入工艺设备技术调试完成,标志着SiC芯片生产线全线设备、工艺调试圆满完成,具备SiC产品的生产条件,下个月产线将正式启动试流片。该生产线是国内首条6英寸SiC芯片生产线,总建设投资3.5亿元人民币,获得了国家＂02＂专项、国家发改委新材料专项等国家重点项目支持,是公司的重点投资项目之一。半导体事业部SiC器件产业化建设团队在时间紧、任务重、无成熟经验可借鉴的情况下,得到中科院微电子所技术支持和协助,攻坚克难,
出处
《半导体信息》
2017年第6期32-33,共2页
Semiconductor Information
