关于多晶硅产品中碳杂质的控制

多晶硅产品主要应用于半导体材料的生产,作为重要的高纯原材料,其自身的碳含量控制至关重要,目前后续加工中无法有效的去除碳杂质,如果生产过程碳杂质超标,势必将影响后续产品质量,因此,对于半导体材料中碳含量的控制应从多晶硅生产这一环节控制。本文阐述了多晶硅生产过程中碳杂质的主要来源和生产过程中的转化形式,并提出了生产中控制碳杂质的方法。