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母盘玻璃盘基的制作与工艺

The manufacturing and process of glass master
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摘要 精密光学与电子学的迅速发展,尤其是在光学短波 段,对所使用的元件或基板的品质(如材料的各 种缺陷密度,外形尺寸的精度,平面度,平行度,表面 粗糙度,表面硬度等)提出了非常高的要求。特别是表 征基板表面平滑程度的微观表面粗糙度,被要求达到Ra 低于1nm的指标。即我们称之为超光滑表面。 The high quality of glass substrate is essential for optical disc mastering process. The precision-machined production process and also advanced optical detection technology must be used in grass substrates manufacturing. Here is a brief introduction.
出处 《记录媒体技术》 2005年第1期52-53,44,共3页 China Mediatech
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