真空与磁控溅镀概论

一、真空概论与基本系统架构 地球上对流层空气(Air)的组成为:78．08％氮气(Nitro- gen,N2)、20．95％氧气(Oxygen,O2)、0．934％氩气(Argon, Ar)、0．033％ 二氧化碳(CO2)与0．003％的其它气体(0．00182％ 氖Neon,Ne;0．00053％氦Helium,He……),而真空(Vacuum) 顾名思义就是在一个区域内把所有的气体排除后,该区域中 所处的环境状况。不过,绝对真空仅仅是一个理想的状况,