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SPC在硅外延生产中的应用研究
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摘要
统计过程控制(Statistical Process Control,SPC)强调全过程监控、全系统参与,并且强调用科学方法(主要是统计技术)来保证全过程的预防。但是SPC在实际生产应用中,由于选择方法的错误,往往导致事倍功半。本文以硅外延实际生产为例,确定了科学的方法,而具体的应用案例及效果由于篇幅问题不再详述。
作者
边娜
赵新明
陈涛
机构地区
中国电子科技集团公司第四十六研究所
出处
《中国计量》
2018年第1期74-76,92,共4页
China Metrology
关键词
硅外延
SPC
应用
生产
全过程监控
统计过程控制
科学方法
统计技术
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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