超高纯四氯化硅技术研发项目通过科技成果鉴定

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摘要 2018年1月9日,中国电子材料行业协会组织行业专家对中国恩菲和中硅高科共同承担的“超高纯四氯化硅技术研发项目”进行成果鉴定。该项目于2015年10月10日得到河南省科技厅审批,随后,中国恩菲依托中硅高科,发挥强大的研发团队和持续的技术研发能力,结合已有四氯化硅提纯工艺技术,经过2年潜心研发,

出处《有色设备》 2018年第1期54-55,共2页 Nonferrous Metallurgical Equipment

关键词科技成果鉴定研发项目四氯化硅硅技术超高纯行业协会电子材料研发能力

分类号 TQ127.2 [化学工程—无机化工]

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