ICP-MS法测定高纯三氯氢硅中磷元素研究

本文研究了ICP-MS法测定高纯三氯氢硅中的磷元素含量。高纯三氯氢硅经水解后生成二氧化硅,经石墨熏蒸器在氢氟酸酸雾消解后用电子级硝酸定容检测,通过对磷元素的特性进行分析,选定了最优化的ICP-MS分析条件,仪器的检测限0.08ng/g,回收率为108%,标准曲线线性R=1.0000,本方法适用于高纯三氯氢硅中痕量磷元素的测定。