“JYJ-J型激光平面度仪”光电瞄准精度

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摘要 “JPJ—J型激光平面度仪”是新型的平面度测量仪,是用一个在空间自动安平的“激光平面”做为被测平面的“过度基准平面”,通过放置在被测平面的“光电测头”自动跟踪光束的过程,测得其平面度误差的原始数据。该值的数字形式显示,用电信号输入计算机,由专用程序直接算出被测平面的平面度误差,其对2M×2M平板平面度测量方法误差≤±2.5um,具体分析如下:

作者魏作龙李健

机构地区佳木斯市技术监督局

出处《质量天地》 1998年第S1期52-52,共1页

关键词激光平面光电瞄准平面度误差平面度测量方法误差激光束测量误差原始数据光强变化自动跟踪

分类号 F203 [经济管理—国民经济]

质量天地

1998年第S1期

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