MEMS先进加速转向传感器的比较仿真与拓展应用研究

比较研究了MEMS加速度计与陀螺仪,并制定两项拓展功能应用创新。一项是针对位移传感实时数据的控制调节,来辅助进行光纤传感系统的微球腔对接校准,解决了原先校准两个光纤圆球之间对接时,需要若干发送接收装置外加功率计,组成的校准平台过于繁琐、庞大的问题;另一项拓展功能为微细陀螺搅拌机设计方案。再将其与ANSYS有限元软件的仿真相结合,来分析微细搅拌头陀螺的场分布,从而预测搅拌头陀螺的变形。