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特种气体的配气装置及方法

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摘要 申请(专利)号:201710822033.8公开(公告)日:2018-03-13申请(专利权)人:清远先导材料有限公司摘要:本发明涉及一种特种气体的配气装置,所述配气装置包括置于同一高度的N个同样的目标气瓶、N根金属管、一分流圆轴,每一目标气瓶通过一根金属管连接在分流圆轴上.
出处 《低温与特气》 CAS 2018年第2期53-53,共1页 Low Temperature and Specialty Gases
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