多晶硅生产装置氯硅烷渣浆连续处置技术

Continuous Disposal Technologies for Chlorosilane Slurries in Polysilicon Production Plant

介绍了多晶硅生产副产物四氯化硅渣浆处置技术的起源和发展过程,通过对最早引入的间歇耙式处置工艺的介绍,引出桨式连续处置工艺,并通过比较突出了桨式连续处置工艺的特点和优势。