大面积狭缝式涂布工作台的设计与分析

Design and analysis of large area slot die coating stage

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摘要针对狭缝式涂布在大面积涂布领域的应用需求,设计了用于平板显示光阻涂布的精密工作台。利用有限元仿真软件ANSYS Workbench对工作台的龙门滑台组件进行了静力学分析,同时对工作台的运动部件进行了动力学模态分析,结果表明所设计工作台具备足够极高的静态刚度和动态响应能力,能够满足大面积狭缝式涂布要求。

作者李烁 LI SHUO

机构地区中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

出处《制造业自动化》 CSCD 2018年第5期126-128,共3页 Manufacturing Automation

关键词狭缝式涂布大面积模态分析

分类号 TH12 [机械工程—机械设计及理论]

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参考文献4

1徐方超,李增辉,兰红波.狭缝涂布理论建模与数值模拟[J].青岛理工大学学报,2014,35(5):110-114. 被引量：6
2钟黔,洪荣晶,黄筱调.基于ABQUAS的高加速高精度定位气浮平台有限元分析[J].机械设计与制造,2013(4):137-140. 被引量：3
3徐登峰,赵冶.超精密运动平台高动态性能运动部件的研究[J].制造技术与机床,2009(7):37-40. 被引量：3
4宛敏红,李冶夫,张杰.超精密气浮定位平台动力学特性分析[J].机械设计与制造,2011(1):219-221. 被引量：3

二级参考文献28

1林彬,张晓峰,张国亮.石英陶瓷在精密平台中的应用[J].光学精密工程,2005,13(1):73-80. 被引量：11
2张晓峰,林彬.大行程纳米级分辨率超精密工作台的发展方向[J].南京航空航天大学学报,2005,37(B11):179-183. 被引量：10
3蔡祖光.精细陶瓷的生产与应用[J].陶瓷,2006(10):54-55. 被引量：3
4齐乃明,陶家生,关英姿,王伟远.气浮导轨误差均化作用的探讨[J].哈尔滨工业大学学报,1997,29(1):61-63. 被引量：11
5Chen B M. Robust and H∞ Control. Springer, 2000.
6Greenwald A S, Dugundji J. M IT Aero elastic and Structures Lab, AFSR Sci. Report:1967,AFSR 67-1395.
7张呜.超精密气浮运动台流固耦合模态分析及优化设计:[博士学位论文].北京:清华大学精仪系,2005.
8http ://www. newport. com/Custom-Motion-Systems/446473/1033/catalog. aspx.
9http://www.rockwellautomation.com/anorad/products/airbearingsystems/index.html.
10http ://www. aerotech.com/products/gantries/gantries, html.

共引文献11

1葛晓宇,肖勇,孙静娜,潘佩琦.ACS控制器在超精密定位系统中的应用[J].信息系统工程,2011(11):38-41.
2钟黔,洪荣晶,黄筱调.基于ABQUAS的高加速高精度定位气浮平台有限元分析[J].机械设计与制造,2013(4):137-140. 被引量：3
3刘强,曹建树,房建成.磁悬浮自由摇滚系统的研究[J].机械设计与制造,2014(4):102-104.
4孟萍,李耀明,葛成重,孔维娜,郝慧敏.基于ITO图形短路检测仪的精密运动平台的设计与分析[J].中北大学学报（自然科学版）,2015,36(2):171-175.
5刘梅,钟黔.定位运动平台气浮导轨设计[J].机械设计与制造工程,2016,45(7):65-69. 被引量：1
6谢小英.精密涂布技术的发展状况[J].影像技术,2017,29(1):4-7. 被引量：3
7李才昌.精密涂布技术及其应用[J].绿色包装,2017(11):42-46. 被引量：3
8巫湘坤.锂离子电池浆料狭缝式涂布初期流场模拟研究[J].电源技术,2018,42(4):500-503. 被引量：2
9斯迎军,高峰.打孔机精密运动平台动力学建模与优化[J].山西电子技术,2018(3):41-43. 被引量：1
10林黎明,李冬梅,张瑞,李青华.极片涂布工艺参数与涂层湿厚度关系的数值模拟[J].机械设计,2021,38(8):38-44. 被引量：2

1张乾,谭立杰,程秀全,张永昌.直线电机原理及其在精密工作台中的应用[J].电子工业专用设备,2017,46(6):70-74. 被引量：5
2喜报[J].光电子技术,2018,38(1):72-72.
3张乾,谭立杰,宋婉贞,陈国兴.直线电机伺服控制系统研究[J].电子工业专用设备,2018,47(2):67-70. 被引量：2
4高日辉,陈燕,马春燕,窦银科.基于滑模控制的三相PWM整流器结构设计与性能仿真[J].太原理工大学学报,2018,49(2):258-263. 被引量：9
5张小安.基于ANSYS的直齿锥齿轮传动模态分析[J].机械制造,2018,56(1):34-37. 被引量：7
6郑刚.批处理式离子注入机电荷交换效应的防控[J].电子测试,2017,28(7X):41-43.
7温新竹,秦少平.一种多通道流式颗粒物检测仪的设计[J].化学工程与装备,2018(1):255-257.
8庞科旺,张明,郭长兴.基于分数阶PI~αD~β的船用永磁同步电机控制策略研究[J].舰船科学技术,2018,40(4):94-98. 被引量：3
9宋科.一种多旋翼无人机三轴稳定云台的设计[J].机电工程,2018,35(2):153-157. 被引量：15
10李文军,孙宏健,郑永军.热电偶动态响应模型的贝叶斯推断[J].传感技术学报,2018,31(2):228-233. 被引量：7

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