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XPS和TOF-SIMS在PCB失效分析中的应用
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摘要
X射线光电子能谱仪(XPS)和飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)作为浅表面化学分析的两种重要手段,能够高精度的提供村料表面丰富的物理化学信息,在诸多行业的科学研究中被广泛应用.本文通过设备原理分析,结合具体应用实例,对XPS和TOF-SIMS在PCB失效分析的应用做了简单探讨.
作者
何骁
周亮
沈江华
李伟明
机构地区
工业和信息化部电子第五研究所
出处
《印制电路资讯》
2018年第3期104-108,共5页
Printed Circuit Board Information
关键词
XPS
TOF-SIMS
失效分析
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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