ASM国际以先进半导体沉积处理技术服务中国客户

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摘要近期，ASM国际在SEMICONChina正式重申其对中国先进半导体制造的支持，并计划将为地制造商提供前端半导体晶圆制造和技术研发的支持。据了解，ASM在中国已用于生产的平台有原子层沉积、增强等离子体化学气象沉积、立式炉、外延设备。同时，面向逻辑／代工厂、存储和模拟制造及晶圆市场.

出处《中国集成电路》 2018年第4期8-9,共2页 China lntegrated Circuit

关键词半导体制造技术服务 ASM 中国沉积处理国际客户化学气象沉积

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中国集成电路

2018年第4期

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