光电混合组件及其制造方法

摘要：本发明提供光电混合组件及其制造方法。该光电混合组件能够缩短半导体芯片的发光部或者受光部与形成于芯上的反射面之间的距离，能够减小光电转换基板部分与光波导路部分之间的光损耗。在光波导路部分（W1）的上敷层（3）的表面形成凹部（3a）。