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Mentor强化支持TSMC 5nm FinFET和7nm FinFET PIUS工艺以及晶圆堆叠技术的工具组合

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摘要 Mentor日前宣布:公司Calibre nmPlatform和Analog FastSPICE(AFS^TM)Platform中的多项工具已通过台积电(TSMC)最新版5nm FinFET和7nmFinFET Plus工艺的认证。
出处 《中国集成电路》 2018年第6期6-6,共1页 China lntegrated Circuit
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