冷壁CVD法制备石墨烯装置的工艺参数在线量值保证系统研究

目前已使用CVD法在Cu箔上制备出了迄今最大面积(约30英寸)的石墨烯,而且较易于转移到各种基体上使用,因此,该方法被广泛用于制备石墨烯晶体管和透明导电薄膜,已逐渐成为制备高质量石墨烯的主要方法。但是,目前冷壁CVD法制备石墨烯存在的关键技术难题是:不同批次制备的石墨烯产品质量差异较大和同批次制备的石墨烯产品均匀性较差。因此,开展石墨烯制备过程中的工艺参数在线准确测量和量值保证方法研究,为解决石墨烯制备的关键技术难题,实现石墨烯从制备走向量产具有非常重要的意义。